MEMS模态分析

基于微型显微激光多普勒测振仪的MEMS模态分析

实验设置：

测试目的：测试MEMS结构模态及参数估计
测试设备：微型显微激光多普勒测振仪
测试位置：XY平台每隔10um测量点
分析方法：FRF及模态分析

结果分析： 通过扫频对MEMS结构进行各测点的FRF分析，从而获得该结构的模态固有频率及振型等参数

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