MotionView 显微激光测振仪
可测量微小元件的振动及模态
MotionView 显微激光测振仪
MotionView 是一款结合激光测振传感器和数字显微镜的一体化测量系统，可广泛使用在微结构的振动特性测量领域中，如显微材料测试、半导体领域测试和微机电测试。
产品优势：
• 影像指示测量位置 • 光学变焦、数字变焦，最大放大倍数450倍 • 1310nm 测量光+ 655nm 红光指示 • 测量光斑大小 <100um • X/Y/Z 三维调节能力 • 振动检测分辨率 ≤1nm • DC~2.5MHz 测量范围 • 支持同步触发测量 • 最大振动量测量能力 20m/s
